簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="溫度感測塗料"


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    以溫度可視化方法探討化學機械拋光製程中晶圓溫度分布
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生： 葉子毓   指導教授： 田維欣
    • 在現今半導體晶片製程中，為達到更小的元件關鍵尺寸(Critical Dimension, CD)，化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)逐漸成…
    • 點閱：310  下載：1 
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
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